拉曼光谱的能力已在半导体材料领域得到了充分利用。它可以在不进行样品前处理的情况下检测集成电路中的微不均匀性，光电，微电子和传感器设备中的缺陷，这些缺陷对它们可能对装置性能的影响具有特殊的技术意义。该方法还允许对半导体的结构和电性能进行定量和非破坏性的微观分析。这些主要包括离子注入引起的损伤，异质结构中的应变，晶体学取向的测量，多晶粒尺寸和自由载流子浓度。

拉曼光谱分析仪可检验项目：
材料纯度
缺陷分析
合金成份
超晶格结构
污染物鉴定
半导体异质结构
异质接面的掺杂效应
本质应力＆应变的特性因素
光致荧光的显微分析材料纯度

实例检测：光阻剂的测试